機器消耗品市場

商品NO	1307	商品名	バリアブルリークバルブ（微少ガス流量を安定調整）	メーカー	（株）スプリード	管理	（株）スプリード
		型式	ICF70-ICF34	価格		商品問合せ
特徴	•スパッタ装置、ガス分析装置など導入ガス流量の調節を必要とする真空装置に使用するものです • 極めて微少流領域から安定した調節が可能です •ベーカブル対応					カタログ
仕様	ボディ：SUS304 調整可能最小リーク量：6.7×10-9Pa以下バルブ全閉時リーク量：6.7×10-11Pa以下ベーク温度：450℃ 導入圧力：1MPa ガスケット：銅
備考				管理NO

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